Справочник по технологии тонких пленок — наиболее современное и фундаментальное издание, посвященное тонким пленкам твердых веществ, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике, магнитной технике, СВЧ и космической технике и др. Справочник издается в двух томах. В т. 1 включены гл. 1—7, в т. 2 - гл. 8—21.

В т. 1 справочника читатель найдет исчерпывающие справочные данные по различным методам получения тонких пленок (техника высокого вакуума, физический механизм распыления материалов под действием ионной бомбардировки, методы получения пленок путем ионного распыления); технологические разъемы, а также параметры необходимой аппаратуры.

В т. 2 справочника рассмотрены особенности тонких пле­нок: их рост и структура, методы ее исследования, толщина и химический состав пленок, а также зависимость их струк­туры от технологии.

Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов радиоэлектронной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микро­электроники, физики и технологии изготовления тонких пленок. Это и многое другое вы найдете в книге Технология тонких пленок. Справочник. В 2 томах (комплект) (нет)