О книге

Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.

Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области Это и многое другое вы найдете в книге Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 2. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования (М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. Г. Путря, В. И. Шевяков)

Полное название книги	М. А. Королев, В. И. Шевяков, Т. Ю. Крупкина, М. Г. Путря Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 2. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования
Тип	Книга
Авторы	М. А. Королев, В. И. Шевяков, Т. Ю. Крупкина, М. Г. Путря
Категории	Образование и наука, Книги
ISBN	9785947745856
Возрастное ограничение	18
Издательство	Бином. Лаборатория знаний
Год	2009
Название транслитом	tehnologiya-konstrukcii-i-metody-modelirovaniya-kremnievyh-integralnyh-mikroshem-v-2-chastyah-chast-2-elementy-i-marshruty-izgotovleniya-kremnievyh-is-i-metody-ih-matematicheskogo-modelirovaniya-m-a-korolev-t-yu-krupkina-m-g-putrya-v-i-shevyakov
Просмотров	8
Рейтинг izbe.ru	0,0