О книге

Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении Функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок.

Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов. Это и многое другое вы найдете в книге Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы (В. Киреев, А. Столяров)

Полное название книги	А. Столяров, В. Киреев Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Тип	Книга
Авторы	А. Столяров, В. Киреев
Категории	Книги, Компьютеры и Internet
ISBN	5948360393
Возрастное ограничение	18
Издательство	Техносфера
Год	2006
Название транслитом	tehnologii-mikroelektroniki-himicheskoe-osazhdenie-iz-gazovoy-fazy-v-kireev-a-stolyarov
Просмотров	6
Рейтинг izbe.ru	0,0