О книге

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.

Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области. Это и многое другое вы найдете в книге Металлизация ультрабольших интегральных схем (Д. Г. Громов, А. И. Мочалов, А. Д. Сулимин, В. И. Шевяков)

Полное название книги	В. И. Шевяков, Д. Г. Громов, А. Д. Сулимин, А. И. Мочалов Металлизация ультрабольших интегральных схем
Тип	Книга
Авторы	В. И. Шевяков, Д. Г. Громов, А. Д. Сулимин, А. И. Мочалов
Категории	Образование и наука, Книги
ISBN	9785947749045
Возрастное ограничение	18
Издательство	Бином. Лаборатория знаний
Год	2009
Название транслитом	metallizaciya-ultrabolshih-integralnyh-shem-v-i-shevyakov-d-g-gromov-a-d-sulimin-a-i-mochalov
Просмотров	3
Рейтинг izbe.ru	0,0